<ins id="11111"></ins>
    <ins id="11111"></ins>

    <ol id="11111"><th id="11111"></th></ol>

    <font id="11111"></font>

        <font id="11111"></font>

          <ins id="11111"><th id="11111"><del id="11111"></del></th></ins>

          <ins id="11111"></ins>

            超纯气体处理
            当前位置:首页 > 解决方案

            过程简述

             

            半导体工业用的超纯气体有氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等,它们大部分 是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到,根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法。集成电路发 展到兆位级后,对超净提出了更严格要求,在超纯气体或电子气体供气系统中,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子,在使用气前须安装过滤器。
             

            问题描述

             

            半 导体元件因其高集成化,制作芯片上的电子电路的最小加工线宽度变得更微细,16k位电路线宽、线路间距为4~7微米,而256k位电路为0.8~1.5微 米;这种微细的加工允许的微粒子的最小粒径是加工尺寸的1/5~1/10,故对于64k位随机存取记忆,存在0.3微米的粒子会成为问题,对于 256k~1M位随机存取记忆,某一段存在0.1微米的粒子就会成为问题。在半导体工业生产中, 几乎各道工序都用到超纯气体, 元件的质量与超纯气体的纯净度密切相关。
             

            产品应用

             

            深度过滤:
            玻璃纤维滤纸
            多孔陶瓷
            烧结金属
            石棉
            毛毡


            膜过滤:
            金属孔板(丝网)
            Teflon膜
            陶瓷膜

             
            关联产品

            版权所有 © 飞潮过滤

            服务热线: 400-820-6150

            邮箱:marketing@www.humicchem.com

            沪公网安备 31012002005497号

            沪ICP备2021029355号

            凤凰彩票网