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超纯水处理
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超纯水过滤

 

过程简述

 

在半导体产品制造过程中,由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其对作为半导体行业血脉 的超纯水系统更是高之又高。半导体行业超纯水制造工艺可以概述为4个部分,分别为预处理部分、RO部分、电去离子部分和抛光混床部分;在有些半导体厂中, 也有用“阴床+阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定。
 

产品优势

 

 

产品应用

 

多介质过滤器+活性炭过滤器
粗过滤器+超滤装置

 

反渗透膜

 

EDI模块和 CEDI模块

 

 
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